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產(chǎn)品總覽PRODUCT

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產(chǎn)品展示--六氟化硫

product

六氟化硫


六氟化硫 SF6)

項(xiàng)目名稱

純度指標(biāo)(%

六氟化硫

≥99.999

≥99.99

雜質(zhì)含量(ppm)

空氣(Air

≤5

≤30

水(H2O

≤1

≤1

四氟化碳(CF4)

≤4

≤30

酸度(Acidity)

≤0.1

≤0.1

可水解氟化物(以HF計(jì))

≤0.1

≤0.2

礦物油(Mineral Oil

≤0.5

≤0.5

 

包裝:采用40L、44L鋼瓶充裝,也可根據(jù)客戶需要,分裝到2-10L的氣瓶中。 

 

用途:在半導(dǎo)體生產(chǎn)中用作高密度等離子刻蝕的氟源,不會(huì)產(chǎn)生含碳副產(chǎn)品;

變壓器中的絕緣介質(zhì);

金屬冶煉中的保護(hù)氣氛;

六氟化硫斷路器、互導(dǎo)傳感器、六氟化硫避雷針的滅弧氣體 
 電子級高純六氟化硫作為一種理想的電子蝕刻氣體,廣泛應(yīng)用于微電子技術(shù)領(lǐng)域 
 作為光導(dǎo)纖維制造中的單膜光纖隔離層摻雜劑 
 作為大氣污染監(jiān)測和水文地質(zhì)檢測領(lǐng)域的示蹤劑 
 肝臟腫瘤的超聲造影檢查的造影劑也作為六氟化硫的用途

 

理化性質(zhì)六氟化硫(SF6)常態(tài)下是一種無色、無味、無嗅、無毒的非燃燒性氣體,分子量146.06,密度6.139g/l,約為空氣的5倍。是已知化學(xué)安定性最好的物質(zhì)之一,其惰性與氮?dú)庀嗨?。它具有極好的熱穩(wěn)定性,純態(tài)下即使在500℃以上也不分解。六氟化硫具有卓越的電絕緣性和滅弧特性,相同條件下,其絕緣能力為空氣、氮?dú)獾?.5倍以上,滅弧能力為空氣的100倍。六氟化硫的熔點(diǎn)為-50.8℃,可作為-45-0℃溫度范圍內(nèi)的特殊制冷劑,又因其耐熱性好,是一種穩(wěn)定的高溫?zé)彷d體。

 

注意事項(xiàng):

密閉操作,局部排風(fēng)。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),嚴(yán)格遵守操作規(guī)程。建議操作人員佩戴過濾式防毒面具(半面罩)。遠(yuǎn)離易燃、可燃物。防止氣體泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸,防止鋼瓶及附件破損。配備泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

儲(chǔ)存注意事項(xiàng):儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易(可)燃物、氧化劑分開存放,切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。